Die Einführung des polierten Aluminiumnitrid-ALN-Keramiksubstrats

A poliertes Aluminiumnitrid (AlN)-Keramiksubstratist ein spezieller AlN-Substrattyp, der einem Polierprozess unterzogen wurde, um eine glatte und ebene Oberfläche zu erzielen. Bei diesem Polierprozess wird typischerweise die Oberfläche der AlN-Keramik geschliffen und poliert, bis ein hoher Grad an Glätte und Ebenheit erreicht ist. Das resultierende Substrat wird häufig in elektronischen und optoelektronischen Anwendungen verwendet, bei denen eine hochwertige Oberflächenbeschaffenheit unerlässlich ist. Hier sind einige wichtige Punkte zu polierten AlN-Keramiksubstraten: Glatte Oberfläche: Durch den Polierprozess werden Oberflächenunregelmäßigkeiten, Rauheiten und Unvollkommenheiten entfernt, was zu einer glatten und gleichmäßigen Oberfläche führt. Dies ist von entscheidender Bedeutung für Anwendungen, bei denen die Oberflächenqualität des Substrats die Geräteleistung beeinflusst. Ebenheit: Polierte AlN-Substrate zeichnen sich typischerweise durch einen hohen Grad an Ebenheit aus. Diese Ebenheit ist wichtig, um ein gleichmäßiges Wachstum epitaktischer Schichten und die Leistung von auf dem Substrat aufgebauten Geräten sicherzustellen. Wärmeleitfähigkeit: Die Wärmeleitfähigkeit von AlN bleibt eine wertvolle Eigenschaft polierter Substrate und eignet sich daher für Anwendungen, die eine effiziente Wärmeableitung erfordern. Elektrische Isolierung: Wie unpolierte AlN-Substrate behalten auch polierte Versionen die elektrischen Isoliereigenschaften von AlN bei und eignen sich daher für elektronische und Halbleiteranwendungen. Verwendung in Halbleiterbauelementen: Polierte AlN-Substrate werden oft als Grundlage für das Wachstum epitaktischer Schichten aus anderen Halbleitermaterialien wie Galliumnitrid (GaN) verwendet. Die glatte und flache Oberfläche trägt dazu bei, ein qualitativ hochwertiges Epitaxiewachstum und eine hohe Geräteleistung zu erzielen. Optoelektronische Anwendungen: Zusätzlich zu Halbleiterbauelementen werden polierte AlN-Substrate in optoelektronischen Anwendungen verwendet, einschließlich der Herstellung von Leuchtdioden (LEDs), Laserdioden und Fotodetektoren. Polierte AlN-Keramiksubstrate sind wertvoll für Anwendungen, bei denen Oberflächenqualität, Ebenheit und Wärmemanagement von entscheidender Bedeutung sind. Sie tragen dazu bei, die Leistung und Zuverlässigkeit elektronischer und optoelektronischer Geräte zu verbessern, insbesondere in Hochleistungs- und Hochfrequenzanwendungen. Der Grad der Politur und die spezifischen Anforderungen an die Oberflächenbeschaffenheit des Untergrunds können je nach beabsichtigter Anwendung und den Möglichkeiten des Herstellers variieren.